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管式低壓淀積爐
應(yīng)用范圍：
晶體硅太陽能電池制造中硅片表面淀積多晶硅及原位摻雜
應(yīng)用產(chǎn)品：
BTH/BTB/BEH/CTH/BH系列涵蓋高精度、高速度、長行程等
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